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장비 및 시설 기본정보
전자주사현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 캠시스 |
| 모델명 | M-1 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-08-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 전자주사현미경에 관한 것으로서 일측 개구된 진공공간을 형성하는 챔버본체와 상기 챔버본체의 개구를 기밀 가능하게 개폐하는 챔버커버를 갖는 시료챔버와; 상기 챔버본체내에 X-Y방향으로 미세 유동 가능하게 설치되어 시료를 적재하는 시료테이블과 상기 챔버커버에 설치되어 상기 시료테이블을 X-Y방향으로 미세 유동시키는 X방향조절노브 및 Y방향조절노브를 갖는 스테이지유닛과; 상기 챔버본체 상부에 연통하게 결합되는 중공 기밀체의 하우징과; 상기 하우징의 내측에 설치되어 상기 시료테이블에 적재된 시료를 향해 전자 빔을 주사하는 전자주사 유닛과; 상기 시료와 충돌된 전자빔으로부터 생성된 2차전자를 검출하는 2차전자 검출기와 상기 2차전자검출기에서 검출된 신호를 비디오신호로 변환하는 측정영상처리부를 갖는 측정유닛과; 상기 하우징과 상기 시료챔버 내부를 미리 설정된 진공도로 동시에 진공 유지시키는 진공유지수단을 포함하는 것이 특징구성및성능 Magnification : 10000x(Digital Zoom : 24 x) Accelerating Voltage : 15kV Specimen traverse : X : ±15mm Y : 18mm Max. Sample Size : 20mm in diameter Max. Sample Thickness : 10mm Electron gun : Hair pin filament Detection System : High sensitive semiconductor BSE detector Auto Image adjustment function :Auto start Auto focus Auto brightness Image format : BMP Frame Memory : 640x480 pixels 1280x960 pixels Image data Memory : HDD of PC Evacuation System : Rotary Pump(20L) Turbo Molecular Pump(30L/s) Safety Device: Over-current protection function활용분야 마이크로패키징 각종 검사 반도체 소자 및 부분품 소재의 미세구조 분석 및 성분 분석 Electron Beam 을 시료 표면에 주사하여 방출된 Secondary Electron 을 이용하여 Multi thin layer 의 적층구조 및 초미립자 성분을 고분해능으로 분석 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201403/.thumb/2014032018441083.JPG |
| 장비위치주소 | 서울 노원구 공릉2동 서울테크노파크 172번지 서울과학기술대학교 서울테크노파크 연구본부동 3층 310호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047533 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012303 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |