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표면개질장비

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보유기관명	한국지질자원연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C208
표준분류명
시설장비 설명	- RF power를 사용하여 대기압하에서 Ar및 산소 글로우 플라즈마 발생하여 기판 및 시편에 발생된 플라즈마를 조사하여 기판의 특성을 변화시키는 장비 - 이송 플레이트 및 플라즈마 헤드 전자동 컨트롤 가능RF generator 1기/ Matching box 1기/ MFC 1기/ 시편 stage RF power-> 10-200W 사용 주파수: 43.56NHz 외부 온도: 0-50도 gas 유량: 0.5L/min 처리폭: 200 mm * 300 mm 냉각방식: 공랭식태양용 전지에 사용되는 실리콘 기판의 친수처리 물리적 cleaning 고분자 증착용 기판 표면처리에 사용 가능 표면/ 투과전자현미경 시편 전처리 분말의 산화처리 가능 PCB 패키징 의료 환경 증착 코팅 도금 세칭 환원 등
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120703145249.jpg
장비위치주소	대전광역시 유성구 과학로 124 (가정동) 한국지질자원연구원 시스템동 2층 205
NFEC 등록번호	NFEC-2012-07-166119
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033644
첨부파일

기업조회