| 보유기관명 |
대구경북과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C501 |
| 표준분류명 |
분석 |
| 시설장비 설명 |
Manual & semi-auto nano-imprinting lithography (NIL) system for both thermal and UV (Ultraviolet) imprinting from pieces to 6-inch diameter full area - Thermal NIL: Hot embossing at temperature up to 250℃ or more and cooling down rapidly - UV NIL: UV exposure at room temperature to cure imprinting resist → The system shall be capable of running both thermal and UV imprinting process, respectively and/or simultaneous thermal and UV imprinting process in the same system |
| 장비이미지코드 |
https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201607/2016071816650176.jpg |
| 장비위치주소 |
대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2016-08-211305 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202003123427 |
| 첨부파일 |
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