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전자빔 증착기

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보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명	분석
시설장비 설명	높은 진공 상태의 안정한 조건 속에서 금속 덩어리를 전자빔으로 녹여서 소자 전면부에 분사시키는 증착 방법을 이용하는 장비이다. 진공 효율의 증가로 인해 진공 형성 시간의 단축과 진공도의 향상이 가능하고 주어진 시간 내에 많은 양의 균일한 소자 공정이 가능하다. 또한 상대적으로 저온 환경에서 증착이 가능하므로 열 공정으로 유연하거나, 감을 수 있거나,늘어지는(Flexible, Rollable, Stretchable) 소자들로도 구현할 수 있게되어 일 효율성과 고급 단계의 나노구조물 소자 연구에도 기여할 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201702/201702060114898.jpg
장비위치주소
NFEC 등록번호	NFEC-2017-02-236054
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181166
첨부파일

기업조회