핵융합재료 손상기작 및 미세구조 연구용 전계방사 주사형 전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Carl Zeiss |
모델명 | GeminiSEM 300 |
장비사양 | |
취득일자 | 2016-10-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | 본 전계방사주사형 전자현미경(FE-SEM)은 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율로 확대하여 전자빔에 의한 시료의 손상이 없는 저전압에서도 표면구조 및 형태를 측정할 수 있는 연구 장비임. 관찰 대상에 대한 X-ray 신호를 검출하여 시료를 구성하고 있는 성분에 대한 분석을 할 수 있는 EDS 검출장비와 EDS Detector의 Automated Particle Analysis 기능이 장착되어 있으며 Inlens SE/EsB detector가 칼럼의 전자빔과 같은 축으로 장착된 현미경. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201703/2017030614516706.jpg |
장비위치주소 | 국가핵융합연구소 핵융합첨단연구개발동(본관동) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2017-03-236495 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181213 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |