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장비 및 시설 기본정보
저차원재료 합성용 화학기상증착장비 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 다다 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-10-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 교육 |
| 시설장비 설명 | UHV CVD SYSTEM 으로서 CVD 와 함께 LEED의 측정까지 가능하게 설계가 되어 있고 서로의 실험에 간섭이 있어서는 안되며 Load lock Chamber에서 Main Chamber로의 Sample transfer에 전혀 문제가 없도록 설계 및 제작이 된 기자재 임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201210/20121007124703.JPG |
| 장비위치주소 | 102동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-175712 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035297 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |