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장비 및 시설 기본정보
플래쉬 급속가열 열처리 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ulvac |
| 모델명 | 실험용박스로 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 실리콘 또는 화합물 반도체 및 각종 산화물 금속 박막의 급속 열처리 장치로서 고농도 도핑에 대한 확산을 극도로 억제하기 위한 초단시간 급속 가열 장비임. 플래쉬 램프를 이용한 초단시간 급속 가열 장비인 Flash RTA 장비는 기존의 halogen lamp 대비 초단시간 고온 가열이 가능하여 확산을 억제하면서 고농도의 도핑을 활성화 시키는데 필수적인 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201210/20121029170916.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술원 106동(제3공학관) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174484 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035309 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |