| 보유기관명 |
대구경북과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C501 |
| 표준분류명 |
생산 |
| 시설장비 설명 |
- 공동실험실동의 청정시설인 photo room에 설치될 기자재로 각종 소자제작에 필수적으로 필요한 기본 노광 기자재임. mask와 기판을 정렬·UV 노광하여 기판에 원하는 패턴을 형상할 수 있음 - 향후 도입될 기판접합기(substrate bonder)와 호환하여 이종기판간의 접합·패키징에 활용될 수 있음 - 8" wafer 및 150mm square glass까지 공정이 가능하여 우리원의 기본적인 공정 및 유관기관의 공정수요에도 적절히 대응할 수 있음. |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110805110927.jpg |
| 장비위치주소 |
대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-08-146978 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171113 |
| 첨부파일 |
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