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주사전자현미경

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명	시험
시설장비 설명	일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율50만배이상(최고 100만배)으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구개발과 품질관리 향상에 필수적인 기기이다. 이 주사전자현미경(SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 검출한 다음 LCD로 영상을 표시하는 기능을 있다. 또한 최저 배율은 4배까지 관찰가능하며 경통에 IML렌즈가 있어 TEM(투과전자현미경) 같은 Beam tilt등의 기능이 가능하다. 시료 표면에 실시간 3차원(Real 3D reconstruction) image 관찰이 가능하다. 추가적인 nano probe 장비를 토대로 in-situ 상태의 SEM을 통하여 micro size의 소자에서 전기적 측정과 동시에 소자의 상태변화를 직접 관찰 할 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/20140424171338901.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 금호연구관
NFEC 등록번호	NFEC-2013-04-177678
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037980
첨부파일

기업조회