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자외선 조사 시스템

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보유기관명	기초과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A0
표준분류명
시설장비 설명	○ UV에너지(350 ~ 450nm파장 영역)를 이용한 노광기로 마스크(5,7inch)를 장착 하여, 웨이퍼(4,6in)상에 1:1로 패턴을 Align 및 UV를 전사 할 수 있는 노광 장비임. 또한, 전용 척을 이용하여 조각 샘플도 정렬하여 노광할 수 있어 샘플 사이즈에 구애 받지 않고 성능을 발휘 할 수 있음. 또한, 노광되는 샘플의 각도 및 회전 기능을 이용하여 다양한 3D 형태의 Polymer pattern을 구현 가능 함. ○ 노광되는 샘플의 기울임 각도 및 회전 각도를 조정함으로써, 적용 시키고자 하는 연구에 보다 적합한 3D 형태의 polymer pattern을 구현할 수 있음. 특히 이러한 3D pattern의 구현은 희귀 세포 포획을 위한 삼차원 구조의 다공성 막, 생체 환경 모사를 이용한 세포의 움직임 연구 및 자연모사 구조체를 이용한 다양한 분야로의 적용에 필수적인 요건임.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201606/20160613174210630.jpg
장비위치주소	기초과학연구원 울산과학기술대학교
NFEC 등록번호	NFEC-2016-06-210347
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061389
첨부파일

기업조회