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프로브 스테이션

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보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A0
표준분류명	계측
시설장비 설명	Probe station은 계측기 입장에서 봤을 때 test leader 또는 test fixture의 개념으로 각종 DUT (device under test)의 전기적 특성을 probing을 통해 측정하기 위한 장비입니다. 반도체 개발의 핵심 검사장비로 반도체 Chip안의 PAD에 미세한 바늘 (probe)을 접촉시킨 후 계측기에 나타나는 전기적 신호로 chip의 특성을 확인하는 장비입니다. Probe station은 계측기에 사용되는 기존의 lead선이나 cable 대신 probe tip이 DUT에 연결되는 것이 특징입니다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160901160129_20140730000000176322 NFEC-2014-08-190533.jpg
장비위치주소	카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원
NFEC 등록번호	NFEC-2014-08-190533
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0044762
첨부파일

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