| 기업공감원스톱서비스

4프로브 시스템

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A200
표준분류명	시험
시설장비 설명	1) 본 장비는 전자현미경에서 샘플의 나노 조작과 전기적 특성을 측정 평가하는 장비이다 2) 본 장비는 진공 챔버 내부에서 매니퓨레이터가 나노스케일 단위의 3축 동작 제어가 가능하여야 한다 3) 본 장비는 매니퓨레이터 장치가 SEM 의 진공챔버 도어 와 LOADLOCK을 통해서 진공 챔버 샘플 스테이지에 장착 할 수 있어야 한다. 4) 본 장비는 최대 4개의 매니퓨레이터를 장착할 수 있어야 하며, 각각의 매니퓨레이터에 장착되는 프로브 팁이 전도성 샘플의 표면에 접촉할 경우 접촉 여부를 알려주는 장치를 포함한다 5) 본 장비는 샘플 표면의 저전류를 측정 할 수 있어야 한다 6) 본 장비는 직경 100nm 이하 크기의 프로브 팁을 사용할 수 있어야 한다 7) 본 장비는 샘플을 X, Y 방향으로 움직일 수 잇는 초소형 스테이지를 포함한다
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/2015031310442190.jpg
장비위치주소	이차전지센터
NFEC 등록번호	NFEC-2015-03-200125
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0051000
첨부파일

기업조회