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장비 및 시설 기본정보
박막두께측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nanometrics |
| 모델명 | Nanospec 3000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2001-02-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | Features - Model : Nanometrics NanoSpec 3000 - Maker : Nanometrics Inc. (USA) - Number of films : up to 3 films - Wavelength Range : 400 ~ 800 nm - Film Thickness Range : 200 옹스트롱 ~ 35 마이크로메터 - Spot size : 25um - Light source : White halogen lamp Application - Film thickness measurement . Single layer : Oxide/Si Nitride /Si Photoresist /Si . Two layer : Nitride/Ox /Si Polysilicon/Ox/Si |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110117133136.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-135836 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179752 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |