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장비 및 시설 기본정보
266nm 자외선 멀티 포커싱 및 비젼 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Sm Tech |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 DUV 266nm multi focusing & vision system. 구성및성능 1.DUV Objective lens - 50X - focal length: 4mm - working distance: 10mm - Bandwidth: 266nm ~ 600nm 2. DUV Laser micro scope unit - Zoom 6x ratio - axial illumination adapter - 258nm dicroic mirror with tilt adjust screw 3. Air spaced Triplet fosusing lens set for 266nm 4. kinematic Beam bender - 2degree independent orthogonal mirror adjust - 80 pitchg adjustment screw 5. High power Laser line mirror - wavelength:266nm - R: 99.8 at 266nm -Damage threshold: 3J/CM 6. f =103mm telecentric f-theta lens - a scan filed of approx. 50 X 50 mm |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110907134536.JPG |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 고등광기술연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-09-084547 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0018485 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |