| 시설장비 설명 |
"특징 현재 박막재료연구센터에서 수행하고 있는 미래원천 (기관고유 2E 19390) ""USN 센서 구동용 기능성 박막소재 개발"" 연구에서 1) 에너지 저장소재인 박막형 2차 전지의 전극재료 (양극음극) 제조 및 고체전해질 개발 2) 에너지 발생소재인 박막형 압전재료 증착 및 대면 적화를 위해서 필요한 장비 본 장비는 타겟물질의 조성을 비교적 정확하게 기판에 증착시킬 수 있는 장비로 산화물 금속 등을 증착시킬 수 있으며 위에서 언급한 분야 이외에도 유전체박막 산화물 투명전극박막 센서재료 등 광범위하게 산화물 박막을 증착시킬 수 있는 장비임. 본 장비를 이용하여 박막을 증착시킬 경우 증착할 물질로 구성된 타겟을 제조해야 하는데 타겟의 크기는 작경이 약 1인치 이어야 하며 두께는 크게 제약이 없으나 보통 3 mm 정도의 두께가 적당함. 또한 본 장비는 레이저 국소증발법을 이용하기 때문에 기판에 증착시 대면적의 균일한 박막을 증착하기 어려운 단점이 있으며 일반적으로 가로 세로 10 mm 이하의 균일한 영역을 가짐. |
