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장비 및 시설 기본정보
레이저/포토다이오드 스크라이버
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Daitron |
| 모델명 | DPS-302/DBM-412R |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-03-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C516 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 적용가능 기판크기 :기본 2인치 최대 3인치 Wafer Mount type : DFB2-6-1 wheel Scribing stage control X Y translation : X Y 110mm X axis feed speed : 0.1 ～ 20mm/sec Y axis feed speed : 0.1 ～ 40mm/sec Stage Flatness : 10um Position accuracy : 1um (single stroke) 2.5um (accumulative stroke) Scribing stage θ rotation : 120degrees θ rotation accuracy : 0.02degree Scribing 이미지 패턴 등록수 : 최대 30패턴 Scribing force : 5 ～ 20g |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125152058.JPG |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 실험동 1층 메인클린룸바칩 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-139418 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023946 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |