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장비 및 시설 기본정보
두께측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | KLA-Tencor Co. |
| 모델명 | AlphaStep IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2004-12-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전북대학교 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Instrument Dimensions 44 cm (17.3 in.) wide 79 cm (31.1 in.) deep 27.5 cm (10.8 in.) high Required Space The Instrument’s supporting feet will fit on a 76-cm (30-in.) deep table. There must be at least 3 inches of space in the back for cable connections. Computer and Printer Subject to variations. Please note that the minimum screen resolution must be 1024 x 768.Power Requirements for Alpha-Step IQ Instrument Voltage type: AC single phase + ground Voltage: 100 V to 240 V auto-configured Frequency: 47Hz to 63Hz Maximum power: 42 W max단차를 이용하여 다양한 박막의 두께를 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/B3A1760D9678BD75492570060037CE48.jpg |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 덕진동1가 전북대학교 664-14 전북대학교 반도체공정연구센터 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-019151 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003856 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |