엑스레이 광전자분광기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Thermo Scientific |
모델명 | K-Alpha |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-05-12 |
취득금액 |
보유기관명 | 원광대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B521 |
표준분류명 | 화학·지구과학장비,물리·재료장비 |
시설장비 설명 | 주요사양 및 특징 Powerful Performance - Selectable Area Spectroscopy - Sputter Depth Profiling - Micro-Focused Monochromator - Snapshot Acquisition - High Resolution Chemical State Spectroscopy - Insulator Analysis - Quantitative Chemical Imaging X-ray Source - Anode Material : Al or Mg - Max. Energy : 100W or higher - Spot Size : 30 ~ 400㎛ Ion Gun - Argon Ion Source - Energy : 100eV ~ 3keV - Max. Beam Current : 500nA or larger Analysis Chambe - Ultimate Vacuum : 5x10-9 Mbar or Better - Pumping System : Turbo Pump, Scroll Pump 이용분야 물질의 구성 성분 분석 화학적 결합상태 분석 예) Si, SiO2 결함의 원인 규명 (Depth Profile) 응용 분야 : 고체 표면의 화학적인 결합 상태 및 성분의 조성비 확인이 가능. 박막 및 유/무기 재료 등의 결함 분석 태양전지 개발, 디스플레이 소자 개발, 고분자 복합재료 연구 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/pDKaUlWpnXs4YIh6XQ3y_w600.jpg |
장비위치주소 | 원광대학교 자연과학대학 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-131271 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-방사선센타-00003 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |