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장비 및 시설 기본정보
전계방사형주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Carl Zeiss |
| 모델명 | SUPRA-55VP |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 원리 및 특징 -전자파 또는 전자빔을 만들어낼 때 고체물질 내에 들어있는 많은 수의 전자를 공중으로 띄워 내야 하는데 높은 전계(electric field)를 가하여 전자가 방출되도록 하는 것이 전계방출형 주사전자현미경이다. 전류의 안정도가 매우 좋기 때문에 Lithography 작업에도 적합하며 낮은 가속전압에서도 우수하게 시편의 표면 미세구조를 관찰할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111006131856.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 제주센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-10-149266 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048507 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |