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장비 및 시설 기본정보
IN-SITU 진공챔버(PLD SYSTEM)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)시니즈 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-10-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 산화물타켓을 이용한 고품위 산화물의 초격자 제조를 위한 장비로서 복합전자기 인터페이스의 IN-SITU 제로를 위한 진공챔버이다. 본 장비는 다강체 박막소재의 증착 및 개발을 위한 장비로 사용된다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/2015110214956979.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-11-205787 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202005292209 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |