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장비 및 시설 기본정보
In-situ 실험용 투과전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JEM-3010 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-09-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A205 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 1. Accelerating Voltage : 300 kV(100~300kV) 2. Resolution 1) Lattice resolution : 0.14nm 2) Point resolution : 0.21nm 3. Magnification 1)Standard mode : X4000 to 1200000 4. Electron Gun 1) Filament : Single-crystal LaB6 filament DC heating method Filament voltage presetting system 2) Bias : Semi-fixed bias system bias voltage presetting system 5. Illumination System 1) Lens configuration : 4- stage condenser lens system 2) Beam tilt angle : xy= ±3˚ 3) Spot size -Micro mode : 50 to 200nm(4steps) -Nano mode : 1 to 10nm (4steps) 6. Specimen Chamber 1) Specimen stage : 5-axis eucentric stage 2) Specimen size : 3mm dia 3) Specimen movement : XY= ±1mm Z= ±0.2mm 4) Specimen tilt angle : α = ±30˚ 7. Environment Measurement 1) Heating : In-situ 상태로 ~1000℃의 heating 2) Cooling : LN2 온도까지의 cooling 3) Gas reaction : heating을 동반한 gas reaction 실험 - 전자총 LaB6 thermal ion gun - 점 분해능 0 20 nm - 격자 분해능 0 14 nm - 가속전압 100 ~ 300 kV - 구면수차계수 1 1 mm - 색수차 계수 1 8 mm - 최소 focus 단위 1 5 nm - Spot 사이즈 - TEM mode 20 200 nm dia - EDS mode 1 0 ~ 25 nm dia - NBD mode 1 0 ~ 25 nm dia - CBD mode 1 0 ~ 25 nm dia - CBED(Convergent Beam Electron Diffraction) Convergent angle (2α) 1 5 ~ 20 mrad - 배율 - MAG mode X4 000 to 1 200 000 - LOW MAG mode X50 to 10 000 - SA MAG mode X8 000 to 600 000 - 기록장 - SC 1000 CCD Camera (Gatan Inc ) - In situ분석용 홀더 - 온도 전압 범위 경사각도 - 이축가열홀더 ~ 800℃ X= ±15° Y= ±15° - Cryotransfer 홀더holder 170 ~ 110℃ X= ±60° - gas injection 가열홀더 ~ 350℃ X= ±10° - 전압인가홀더 ±10 V X= ±15° Y= ±15° - 미세구조분석 명시야상 암시야상 고분해능상 - 결정구조분석 선택영역전자회절패턴 수렴빔전자회절패턴 - In situ 분석 냉각 가열 Gas injection Cryo 전압인가실험 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125094513.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 지하1층 구조분석실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-068429 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011274 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |