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나노스캔

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보유기관명	연세대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명	1. Measuring Method White Light Scanning Interferometry(WSI)/PhaseShifting Interferometry(PSI) 2. Scanning Method Closed-Loop Controlled PZT Scanning 3. Scanning Velocity High Accuracy Mode : 2.4 μm/sec High Speed Mode : 7.2 μm/sec 4. Scanning Range Max Coherence length가 매우 짧은 백색광을 광원으로 사용하고 간섭과학계를 수직방향으로 나노급 정밀도로 정밀스캔 제어하며 각각의 스캔 지점에서 측정된 간섭영상신호를 분석하는 방법을 통해 시편 표면에 미세 구조물의 외형을 측정하는 장치 입니다.나노스캔은 시편을 움직이기 위한 XY스테이지 백색광 간섭계 간섭계를 움직이는 Z스테이지와 렌즈를 나노미터 단위로 움직이는 PZT액추에이터 장비 제어를 위한 측정용 컴퓨터로 구성되어 있습니다. 스테이지 정밀도는 0.2~0.4um이며 Z축 측정 정밀도는 0.5nm입니다.3차원 표면 형상 측정 및 해석에 사용되는 장비 입니다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131022163229961.jpg
장비위치주소	서울 서대문구 신촌동 연세대학교 제1 공학관 연세대학교 제1공학관 1층 191
NFEC 등록번호	NFEC-2007-10-020665
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004130
첨부파일

기업조회