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장비 및 시설 기본정보
고분해능X선 회절분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | D8 DISCOVER |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-05-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 부산대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B520 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - X-선과 물질의 상호작용 중 회절 및 반사측정을 통해 물질구조 분석 - 결정구조에 대한 정성 및 정량 분석 - 다결정 다반사에 의한 고분해능 광학계 반사측정을 통한 단/다층 박막의 밀도 거칠기 및 두께 분석 - 미소영역 X-선 조사(Monocalillary) Pre-Fix 개념을 갖는 다양한 분해능 의 Channel Cut Crstal과 Analyzer Crystal을 보유하여 결정성에 따른 분해능 선택 가구성및성능 X-ray generator: 3KW Special LFF Cu anode 4-bounce crystal(Ge(220))Hybrid (Mirror + Ge(220) 2-bounce) Analyzer Crystal(3-bounce Ge(220)) Eulerian cradle(2θ Omega Psi Phi X Y Z) DHS(Domed Hot Stage) : R.T - 900˚C Non-ambient Vantec Detector활용분야 고분해능 X-선 회절에 의한 반도체 및 산화물 박막에 대한 구조특성 측정 및 해석: Epitaxy의 mismatch composition thickness : Super lattice박막 : 역격자 공간 산란분포(RSM)측정 : In-plane측정(GID) |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110120142943.JPG |
| 장비위치주소 | 부산광역시 금정구 장전동 산 30번지 부산대학교 효원산학협동관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047905 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007498 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |