| 보유기관명 |
동국대학교 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
|
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
초순수의 순환 라인과 장비 내의 급수 장치의 압력 차이를 이용하여 청정실 내에 초순수 공급 - One touch air valve로 배수 장치 on/offf - 각종 화학 약품에서 배출되는 fume 배출- Valve : Air-valve Ball valve Diaphragm valve Electronic valve - N2 flow meter - Regulator - D.I. gun - N2 gun - Manometer - Bath : 2 조- Wafer 세척- 화학 습식 식각 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702068745.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 중구 필동3가 동국대학교 26-1 동국대학교 정보문화관P 지하2층 청정실(407-B223) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2001-03-039981 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006348 |
| 첨부파일 |
|
