- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
전기화학적 정전용량-전압 프로파일러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nanometrics |
| 모델명 | ECV Pro |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-09-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 정전용량-전압 측정 방식에 따라 전기적으로 활성화된 도펀트를 예측 - 전기적 신호로 측정하므로 각각 도펀트의 양은 알 수 없으며 반송자의 양을 측정함 - 반도체 표면을 식각용액으로 식각하며 정전용량-전압을 측정하므로 깊이방향으로 측정가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/20130926101448390.png |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 고층고실험동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-09-183034 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIER-00024 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |