전자방사형 표면주사 전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | S-4700 |
장비사양 | |
취득일자 | 2001-06-21 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | 특징 전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자, X-ray, Cathodoluminescence(CL, 음극선광)을 검출하여 고분해능의 이미지, 성분분석 및 CL 이미지분석이 가능하다. Powder, wafer, biological sample과 같은 여러 종류의 이미지분석이 가능한 장비로서 나노관련분야를 비롯한 많은 분야에서 범용적으로 사용되는 분석장비이다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201608/20160824155912246.jpg |
장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 전주센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2001-07-022941 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048476 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |