| 시설장비 설명 |
ㅇ 원리 및 특징 - Organic evaporator는 유기물질을 thermal evaporatio 하는 장비로서 OLED 디스플레이 및 조명 소자제작에 필수적인 장비임 - 본 사업에서 구축하고자 하는 유기증착기는 유기재료 업체에서 개발된 유기물질의 특성(효율, 수명등)평가를 지원할 수 있는 장비임 ㅇ 구성 및 성능 (1) OLED Deposition chamber 1set - Low temperature cell 수량 : 7개 - Middle temperature cell 수량 : 2개 - Thermal boat 수량 : 1개 (2) Load Lock chamber 1set - Glass Size : 100mm±0.05mmX100mm±0.05mm - Loading capacity : Glass : 4 sheets, Mask : 2sheets (3) Glove box 1set - 1.5인용( 3gloves) - Sensor (Moisture ≤ 1.0ppm, Oxygen ≤ 1.0ppm) ㅇ 사용예 및 활용분야 - 본 사업에서 구축되는 유기증착기는 향후 4-5년후에 사업화를 추진하는 후발 기업들의 상용화 기술 개발을 지원하는데 활용될 예정임 - 또한 단위 공정 기술을 개발하는 기업체에서도 많이이용할 것으로 예상됨 - 고가의 장비를 구축하지 못한 대학의 인력양성 사업과 중소모듈업체에 대한 패널 제작 지원에도 활용할 계획임 - OLED 조명 소자 제작에 사용되는 각종 유기물 (HIL, HTL, EML, ETL, LiF, Al등) 및 금속박막증착 - 100mm×100mm 이하의 OLED 소형 면광원 단위 소자 제작 - Hybrid tandem white 소자 구조 최적화 - OLED 소자에 쓰이는 여러 가지 유기물질의 특성 (효율, 수명) 평가 - OLED 소자 제작을 위한 신공정 개발 지원 - 특히 국내 재료업체 (덕산하이메탈, SFC, 위델 등)에서는 주로 유기물질의 특성, 그 중에서도 소자 구조에 영향을 많이 받는 수명 특성 평가를 많이 요구함으로 이를 지원하는데 많이 활용할 계획임 |
