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장비 및 시설 기본정보
고출력임펄스마그네트론제너레이터 패키지
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hauzer Techno Coating |
| 모델명 | HIPIMS+(MPP) |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-08-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 부산대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D402 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 하드웨어 음극 전원 공급 장치 (a) 펄스 전력 발전기 + 아크 컴프레션 (평균 전력 10 kW 최대 전력 150 kW 최대 피크 전압 900 V 최대 피크 전류 600 V 250 A) (b) DC 전원 장치 10 kW (c) 모든 컨트롤러 케이블 음극 전원 공급 장치에 대한 소프트웨어 및 기타 필요한 장치가 포함. (d) 음극 전원 공급 장치는 능동 및 수동 전압 상승 시간과 고급 펄스 직류 발전기를 사용하여 전력 펄스를 modulated 출력 진폭과 진동 제어 마그네트론 증착 공정을 위한 고성능 아크 억제 회로. (e) 리얼 타임 조건의 모든 흐름을 모니터링 할 수 있는 고급 리얼 타임 컨트롤러. (f) 쉽게 전압 펄스 모양을 만드는 펄스 소프트웨어 사용. (g) 500과 3000 사이의 펄스 길이. (h) 사이클 최대 28 %. (i) 아크 컴프레션 시간 800 ns. (j) AC 입력380V 60 Hz (k) 프로그램 컨트롤러에 의해 제어되는 컴퓨터 제어 시스템. (i) 안전 시스템의 긴급 정지 시스템 및 경고 경보 시스템. 2. 하드웨어에 대한 바이어스 (a) 직류 바이어스 전원 공급 장치 8kW (b) AC 입력 380V 60Hz (c) 직류 출력 최대. 전압 1000 V 실제 최대 850V 이하로 사용. (d) 손실 없이 아크 서프레션과 높은 펄스를 사용할 수 있음. (e) 모든 컨트롤러 케이블 음극 전원 공급 장치에 대한 소프트웨어 및 기타 필요한 장치 포함. (f) 안전 시스템의 비상 정지 시스템 및 경고 경보 시스템을 사용.용도 HIPIMS+(MPP) 전력 발전기를 사용하여 마그네트론의 음극과 아크 컴프레션 손실전력 없이 바이어스 전류에서 높은 펄스를 처리할 수 있어야 하며 다음과 같은 과정을 수행할 수 있어야 한다. ● 계면 접착력을 높이기 위한 플라즈마 에칭 ● 높은 피크의 전력에서 이온화를 증가 ● 코팅 증착 변수를 프로그램밍 ● 높은 증착속도 이 장치는 PVD 코팅에 사용되는데 향상된 경도와 내식성과 같은 더 나은 코팅 품질이 얻어질 수 있어야 한다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110120135816.jpg |
| 장비위치주소 | 부산광역시 금정구 장전동 산 30번지 부산대학교 효원산학협동관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-135116 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022742 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |