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장비 및 시설 기본정보
DC RF 스퍼터링 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼원진공 |
| 모델명 | SWDSE-34-TS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Batch Type의 진공시스템으로 PM Chamber의 청정조건 유지하기 위하여 Load-Lock Chamber를 설치하고 완전 Cleaning 후 고진공의 조건에서 금속 및 산화물 박막 등을 4개의 target을 이용하여 동시 스퍼터 증착하기 위한 PVD System임.- 증착물질: 금속 산화물 - 박막증착 두께 균일도는 6인치 기판에서 5% 오차 - 작업진공도 조절가능 기판 가열 가능 (500 oC) - 최고진공도 < 5E-7 Torr - 공정 1회 소요시간 1시간- CIGS 박막 태양전지 광흡수층용 Cu-Ga - In 금속 박막 동시 증착 - 후면전극 Mo 박막 증착 외 다양하게 활용 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201107/.thumb/20110715174514.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 성북구 월곡2동 과학기술연구원 39-1번지 한국과학기술연구원 연구동(L0) 1층 L0183 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-07-146801 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029460 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |