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장비 및 시설 기본정보
ME-ARE 코팅시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 인텍 |
| 모델명 | Ve-10kw |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1989-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 당초 전지빔 증발원을 가진 이온플레이팅 장치이엇으나 현재 구조 변경하여 CCP TYPE의 플라즈마 CVD로 활용하고 있음. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160822172225_200702070474 NFEC-2003-04-040821.jpg |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2003-04-040821 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0013142 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |