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장비 및 시설 기본정보
금속증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아펙스 |
| 모델명 | E6700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1993-11-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 구성및성능 8ilm deposition활용분야 반도체소자제작에 필요한 금속 증착기로서 화합물 반도체 금속을 형성하는데 사용됨. - Ti Evaporation - Pt Evaporation - Au Evaporation - Ni Evaporation |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110120202608.jpg |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 가정로 138 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-10-036857 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014569 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |