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장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | TESCAN, sro |
| 모델명 | TS 5130 LS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-08-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | [특징] Vega SEM TS5130LS는 나노크기의 시편관찰 뿐만 아니라 e-beam lithography 장비와 연계하여 본 장비에서 방출되는 전자빔을 이용하여 나노크기의 패터닝이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200711/20071116155249.png |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신소재공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-047687 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007422 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |