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복층 이차원 소재 합성 화학기상증착 시스템

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B100
표준분류명	생산
시설장비 설명	이종 이차원소재를 복층으로 합성하기 위한 화학기상증착 시스템으로 1층은 hexagonal boron nitride 합성을, 2층에서는 graphene을 합성하도록 디자인 되어 있다. 기본적으로 프리커서가 가열로 내로 주입될 때 위치에 따라 온도구배가 생기며, 이러한 부분은 이차원소재 합성 품질에 매우 큰 영향을 미치기 때문에 heat zone을 80 cm로 길게 잡았으며, SiC 발열체로 1350도씨까지 고속 승온이 가능하다. Hexagonal boron nitride 합성을 위한 전구체는 borazine이라는 액상 프리커서를 사용하며, 이를 위한 항온조가 준비되어 있다. Graphene 합성을 위한 기상 프리커서는 메탄을 사용한다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201705/2017052410338732.JPG
장비위치주소	L4
NFEC 등록번호	NFEC-2017-05-237927
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712273096
첨부파일

기업조회