| 시설장비 설명 |
과제명 : 저온 플라즈마를 이용한 화학반응 공정기술의 개발 주관기관 : 한국과학기술연구원 연구책임자 : 송형근 과제번호 : 2V00740 / KIST 기관고유사업 특징 플라즈마에서 발생되는 빛을 optical fiber를 통해 직접 받아서 내부의 이온 및 라디칼 농도를 측정하는 기기로 써 플라즈마 반응 및 진단을 위해 필수적인 장비이다.플라즈마 온도측정 내부에서 일어나는 반응의 mechanism 예 측 및 반응속도 계산 등을 수행할 수 있음. 구성 및 성능 SP-2500i 500mm Spectrograph System Includes SP-2558 with micrometer controlled one entrance & one exit slits CCD adapter beam diverter mirror RS-232 & USB interface and scan control software for Windows.- Interchangeable triple grating turret- Gratings- Optical fiber bundle 3m & adjustable fiber adapter- PIXIS: 100 CCD Detector |
