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장비 및 시설 기본정보
롤코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 거림테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-02-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전자부품연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C203 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 주요 특징 - 본 장비는 flexible film(PET PI PEN Metal film 등)에 Sputter 방식을 이용하여 투명전극 유전체 등 다양한 물질을 증착 할 수 있는 장비 임. - 기존의 유리 기판위에 증착장비와는 다르게 film을 unwinder rewinder가 장착되어 있어 연속적으로 박막을 증착 할 수 있으며 이는 기존의 증착장비에 비해 생산성이 매우 높음.2. 주요 구성 - unwinder rewinder Sputter target 3. 주요 사양 - roll film 사이즈 : Max. 500mm(폭) - power : MF & pulsed DC power - Target : SiOx ITO 등 - deposition uniformity : +/- 5%4. 주요 용도 - 고투과도 투명전극 공정 개발 - Barrier film 개발 - Flexible 소자 개발 - 본 장비는 flexible film(PET PI PEN Metal film 등)에 Sputter 방식을 이용하여 투명전극 유전체 등 다양한 물질을 증착 할 수 있는 장비 임. - 기존의 유리 기판위에 증착장비와는 다르게 film을 unwinder rewinder가 장착되어 있어 연속적으로 박막을 증착 할 수 있으며 이는 기존의 증착장비에 비해 생산성이 매우 높음. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110118170232.JPG |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 팔복동2가 820번지 전자부품연구원 나노기술집적센터 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-134163 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022262 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |