| 시설장비 설명 |
특징 잉크젯 방식을 이용하여 소자를 제작할 수 있는 장비 잉크젯 프린터는 미세 노즐에서 수~수십 피코 리터(pico liter) 에 달하는 용액이 분사되어 패턴을 형성하는 비접촉식 직접 패턴 방식의 장비.잉크젯은 크게 장비의 기본 틀을 갖추는 외형부 용액의 분사가 일어나는 카트리지부 온도 조절이 가능한 기판 그리고 용액 분사를 보여주는 드랍 와쳐 와 카트리지를 클리닝 해주는 패드 부분이 있음. 카트리지부는 분사된 용액의 형성을 볼 수 있는 카메라와 홀더 부분으로 구성되어있음. 또한 카트리지는 다시 용액을 담고 저장하는 용액부 및 수십 마이크로 미터 직경에 16개의 노즐을 갖는 노즐부로 구성되어 있음. 잉크젯 프린터의 분사 방식에 따라 피에조(piezo) 방식과 버블젯(bubble jet) 방식으로 크게 나눌 수 있는데 전자 소자용으로 이용되는 잉크젯 프린터의 대부분은 피에조 방식을 따르고 있음. 현재 본 실험실에 보유된 잉크젯 프린터는 FUJIFILM Dimatix 회사의 DMP 2800 모델로서 10 피코 리터와 1피코 리터의 카트리지가 적용 가능함. 또한 다양한 용액에 대하여 직경과 선폭이 5~60 마이크로 미터의 점과 선을 패턴 할 수 있으며 이러한 특성을 이용하여 유기박막트랜지스터 유기발광다이오드 유기태양전지 등 용액 공정으로 적용 가능한 모든 유기전자소자에 제작 가능하고 전도성 잉크를 통하여 회로를 디자인 할 수도 있음. |
