| 시설장비 설명 |
특징 본 기기는 탐침(Tip)의 원자와 시료의 원자 사이에 작용하는 힘을 이용해 캔틸리버를 휘게 하는 힘이 발생하고, 이 정보들을 귀환회로에 의해 정밀 제어 각 지점(x, y)을 이동하면서 힘이 일정하게 유지되도록 하여 시료 표면의 삼차원 영상을 원자단위의 크기로 얻을 수 있도록 합니다. 또한 수직 위치를 고정하지 않고 조절할 수 있도록 함으로써 좀 더 정밀한 정보를 삼차원 영상화 하는데 이용되며 탐침이 시료와 접촉하고 있는 범위 내에서 캔틸레버를 일정한 진폭으로 진동시키면 시료와의 접촉에 의해 탐침의 진폭과 위상이 변화를 통해 시료의 연질 부분에서는 캔틸레버의 진폭이 크고 단단한 부분에서는 진폭이 감소된다. 일반적으로 시료의 단단한 부분에서는 진동이 잘 전달되어 진폭이 크고, 부드러운 부분에서는 진동이 흡수되어 진폭이 작아진다. 그러나 진동의 주파수가 변함에 따라 각 물질의 반응도 달라지며, 공명 현상도 일어날 수 있으므로, 한 지점에서 주파수를 변화시키면서 그 물리적 특성을 보는 것도 유용하다. 또한 점도(粘度)가 있는 부분에서는 위상 지연이 생기므로 표면 각 부위에서 진동의 위상을 측정함으로써 시료를 구성하는 물질의 점도를 알 수 있게 한다. 본 장비를 이용하여 기본적인 표면 영상 이외에 다양한 물리적인 특성을 측정 할 수 있습니다. 전기적 특성을 측정할 수 있는 EFM(Electric Force Microscopy) 기능, 자기력을 측정할 수 있는 MFM(Magnetic Force Microscopy)기능, Lateral Force, Phase Imaging 등의 다양한 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. |
