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장비 및 시설 기본정보
CIGS용 유기 금속 화학 기상 증착 장치의 반응기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 브이티에스 |
| 모델명 | VTS_MOCVD |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-04-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | -유기기상증착법에 의한 CIGS 및 칼코나이드계 화합물 박막 제조 -Cu, In, Ga, Se 유기 소스의 분해, 이동, 반응 조절 -저온 증착 가능 -이동 중 소스의 냉각에 의한 반응물 형성 및 이로인한 관막힘을 억제하기 위해 모든 금속 라인에 히팅 엘리먼트 연결 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/20130911102848880.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-06-145757 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053950 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |