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전계방출주사전자현미경

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보유기관명	한국나노기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	특징 - 80K 및 상온온도 영역에서 온도변화에 따른 CL 측정기술개발 - 200~900nm의 영역에서 CL Spectrum을 측정하고 Panchromatic 및 monochromatic CL image 측정기술 - SEM 전자빔의 power를 고정시키고 전자빔의 가속전압을 변화시켜 전자의침투 깊이에 따른 CL 특성을 측정하여 물질의 깊이 방향에 따른 광학적 특성 변화 측정기술구성및성능 - 장비 모델: Gatan Mono CL3 - 설치된 SEM 모델: Hitachi S-4300SE 1.Spectral range: 200 ~ 1800 nm 2.Temperature capability: 80 ~ 300 K 3. High sensitivity peltier-cooled PMT detector (165nm to 930nm) with integral pre-amplifier Ge detector 4. Electron beam induced current (EBIC) 5. Temperature capability: 80 ~ 300 K활용분야 SEM 을 통한 image 확인 및 spectrum 분석 ====================================================================
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200910/.thumb/NFEC-2009-10-078985.jpg
장비위치주소	경기도 수원시 영통구 광교로 109 (이의동) 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 지하1층 특성평가실
NFEC 등록번호	NFEC-2009-10-078985
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017538
첨부파일

기업조회