포토마스크 세정기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 유일테크 |
모델명 | YIT-PMC-M4K |
장비사양 | |
취득일자 | 2007-08-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국나노기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C502 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110901145215.jpg |
장비위치주소 | 경기 수원시 영통구 이의동 906-10 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 2층 팹동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-079100 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017641 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |