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장비 및 시설 기본정보
연마기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)TCS |
| 모델명 | LTpolisher-5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 순천향대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 Plate Speed : 0 ～ 60 RPM Accuracy : 0.5 micron Facing speed : Maximum 200 mm/min Si wafer size : Φ1 ～ Φ4구성및성능 Double side polishing 가공활용분야 각종 재료의 표면의 광택 및 평탄도를 uniform하게 할 수 있으며 재료로의 두께를 조절 할 수 있며 Single side polishing Silicon wafer를 기 존의 Double side polishing wafer처람 가공이 가능 할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200809/.thumb/20080904153416.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 신창면 읍내리 순천향대학교 646번지 순천향대학교 산학협력관 4층 403호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-066570 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010407 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |