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초정밀 폴리싱 장비

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보유기관명	한국기초과학지원연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C105
표준분류명
시설장비 설명	본 장비는 3차원적인 다양하고 복잡한 형상의 중대형 광학부품의 초정밀 연마를 수행할 수 있는 장비로써, X-Y-Z 3축의 LM 가이드 및 리니어모터 조합의 직선 이송계와 B, C, H축의 C/R 베어링 및 DD모터 조합의 회전 이송계 및 Spindle로 이루어진 구성을 갖고 공구의 이송에는 X, B 의 직선-회전 축, 공작물의 이송에는 Y, C 의 직선-회전축의 조합을 통해 다양한 형상의 제작이 가능하도록 설계되었다. 초정밀 가공을 위해 요구되는 진직도 성능에서 X축의 경우 진직도가 5 μm/300mm, Y축의 경우 5 μm/300 mm 각도 오차는 5 arcsec 이내의 우수한 결과를 보여주며, 미소이송 분해능은 10 nm 수준으로 제작이 가능하다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201610/20161024144226754.jpg
장비위치주소	한국기초과학지원연구원 연구2동
NFEC 등록번호	NFEC-2015-12-206841
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059860
첨부파일

기업조회