집적형소자측정용 프루브스테이션
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 엠에스테크 |
모델명 | MST9000CH |
장비사양 | |
취득일자 | 2015-04-24 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전기연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C514 |
표준분류명 | 계측 |
시설장비 설명 | 당해 시스템은 DC, RF 등의 전기신호를 인가하여 반도체 소자를 측정하는 데 사용되는 Probe station 시스템으로, 미세 패턴을 관측하기 위한 현미경과 전기 신호를 인가하기 위한 탐침으로 구성됨 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201505/20150507142049617.jpg |
장비위치주소 | 한국전기연구원 첨단의료기기연구센터 제1연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2015-05-202017 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056237 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |