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장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JSM-6390 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 활용분야 전자선을 표본의 표면에 주사하여 표면에서 발생된 이차전자를 검파기로 수집하여 수 nm의 분해능으로 입체 표면을 관찰할 수 있는 장비 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 전자선을 고체 시료의 표면에 주사하여 표면에서 발생된 이차전자를 검파기로 수집하여 수 nm의 분해능으로 입체 표면을 관찰할 수 있는 장비이다. 본 JSM 6390 모델은 LV 기능을 적용하여 non conductive 시료도 별도의 coating 없이 저배율로 표면의 입체적 관찰이 가능하다. 그 외에도 본 장비는 eucentric stage를 장착하여 초점거리의 이동 없이도 표본의 tilting 측정이 가능하고 airlock chamber의 기능으로 인하여 표본의 loading부터 관찰까지 비교적 단시간 내에 측정이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110921102902.jpg |
| 장비위치주소 | 대전시 유성구 구성동 373-1번지 한국과학기술원 정문술빌딩B102호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-06-059566 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009100 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |