| 기업공감원스톱서비스

마그네트론 스프터링 시스템

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명
시설장비 설명	이온이 물질의 원자간 결합에너지보다 큰 운동 에너지로 충돌할 경우 이 이온의 충격에 의해 물질이 격자간 원자가 다른 위치로 밀리게 되며 원자의 표면 탈출이 발생하게 된다. 이온의 충격에너지는 이물질을 증발시키는데 필요한 열에너지의 약 4배 이상의 에너지를 가져 물질에서 원자를 때려 탈출시키는데 충분하다. 이러한 현상을 스프터링이라 말한다. 이를 이용한 장비를 스프터링 시스템이라 하고 글로우 방전을 이용하는 것이다. 통상 글로우 방전이라 말하는 것은 음극 전면에 음극 암부 음 글로우 등이 있고 양극측에는 커다란 양광주가 있다. 이 글로우 방전에서 양 음극간의 전압은 음극 암부에 있고 양광주 부분에는 전압강하가 거의 없다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201107/20110729143953.jpg
장비위치주소	한국과학기술원 PILOT PLANT동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-07-146679
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0029564
첨부파일

기업조회