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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 표면 처리기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 펨토사이언스(Femto Science) |
| 모델명 | CUTE-MPR |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-09-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B0 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 O2, CF4 등의 가스분위기 혹은 진공으로 플라즈마 처리를 할 수 있는 장치로 기판의 표면을 사용된 가스에 따라 친수성 혹은 소수성으로 처리할 수 있음. 처리된 표면은 주변 조건에 따라 그 성능이 유지될 수 있는 시간이 존재함. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201510/20151012155737711.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구 3동, 공장동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205390 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201904198768 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |