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나노 위치 정렬기

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명	나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축)반도체 유전체 및 금속등의 다이싱 스크라이빙 드릴링 뿐만 아니라 반도체 디스플레이 각종 광회로소자등의 마스크 리페어 및 바이오기술등에의 응용 Stent 제작 및 Optical fiber capillary 등을 레이 저 가공 할때 사용
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013100714120446.jpg
장비위치주소	광주 북구 오룡동 1번지 광주과학기술원 고등광기술연구소 1층 105
NFEC 등록번호	NFEC-2004-02-044311
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006883
첨부파일

기업조회