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장비 및 시설 기본정보
면저항측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이아이티 |
| 모델명 | CMT-SR2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D102 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | General Information The 4-Point probe system is sheet resistance measuring system of the metallic films coated on Si wafer with Jandel Probe. And it is possible to calculate the thickness of metallic films if the resistivity of the film is known. And it also has advantages of sensitivity to measure low resistance without any loss caused by contact compared with 2 point probe.측정범위 : 1mm Ω/sq - Probe : jandel(B C D E) - 시료 : Piece∼200mm 측정범위 : 1mm Ω/sq - Probe : jandel(B C D E) - 시료 : Piece∼200mm도체&반도체 면저항 측정 - Metal Thickness 측정 - Implant Monitoring 가능 Sheet resistance & resistivity measurement of metallic films & other films diffused implant epi-layers and calculation of metallic film thickness. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201509/.thumb/20150917151640869.JPG |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 대학로 291 카이스트 부설 나노종합기술원 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층 FAB |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047876 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007489 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |