| 시설장비 설명 |
[ 전자분광 화학분석기란?] - 일정한 에너지를 가지는 X선(광자)을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자(photoelectron)들이 방출되는데, 이 광전자들의 운동 에너지를 측정하면 광전자가 시료로부터 방출되기 위해 필요한 에너지인 binding energy를 알 수 있음 - EDS나 EPMA로 측정 불가능한 시료 표면으로부터 100Å 이내 깊이에 관한 정보를 얻을 수 있는 표면 민감성 분석장비 [ 전자분광 화학분석기 기능] - 성분분석 : 측정된 전자의 결합에너지와 알려진 원소들의 내각 전자 결합에너지를 비교함으로써 그 전자가 어느 원소의 어떤 내각으로부터 나왔는지 알아낼 수 있고, 이를 통하여 시료 내에 존재하는 원소 성분 분석을 수행함 - 화학결합 분석 : 같은 원소라도 화학결합상태가 다르면 내각 전자의 결합에너지도 조금씩 변화(chemical shift)하므로, 측정된 결합에너지로부터 이 현상을 이용하여 원소의 화학결합상태를 분석함 - Depth Profile : 대표적인 분석방법으로 샘플 표면을 에칭하면서 깊이 방향에 따라 성분 및 화학결합상태를 확인 할 수 있는 분석법 |
