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장비 및 시설 기본정보
정밀 에칭코팅 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | PECS II 685 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-12-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B0 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 알곤 가슬 호라용한 이온 빔(Ion beam)을 이용하여 이온빔 에칭, 크로스섹션, 디레이어링, HR 코팅 등이 가능한 올인원 장비이다. 주사전자현미경(SEM) 관찰시 필요한 다양한 전처리 과정을 한 장비내에서 처리할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201701/201701209594157.JPG |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 10연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-01-235848 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712222730 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |